ОПТИМИЗАЦИЯ ТРАЕКТОРИЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПРИ АВТОМАТИЧЕСКОЙ ФОКУСИРОВКЕ В КОМПЛЕМЕНТАРНЫХ СИСТЕМАХ ЛАЗЕРНОЙ МИКРООБРАБОТКИ

Катасонов Денис Николаевич, Москалева Виолетта Михайловна

Рассматривается формирование при помощи методов лазерной микрообработки протяженных структур (десятки миллиметров), которые характеризуются микротопологией (десятки микрон), что накладывает ужесточает требования к системе позиционирования сфокусированного лазерного пучка. Применение комплементарных систем сканирования лазерного пучка позволяют достичь требуемой точности позиционирования. Использование короткофокусных объективов плоского поля позволяет обеспечить необходимый диаметр сфокусированного лазерного пучка. Однако, такие объективы характеризуются небольшими размерами рабочего поля (порядка 5х5 мм) и небольшой величиной перетяжки пучка (порядка 10-15 мкм). Это в свою очередь требует дробления объекта на отдельные зоны записи, для каждой из которых необходимо обеспечить позиционирования объектива относительно подложки. Такое требование можно соблюсти за счет измерения расстояния до центра каждой зоны записи, что в свою очередь приводит к большому числу перемещений подложки перед осуществлением формирования объекта. В настоящей работе рассматривается подход к реализации системы автоматической фокусировки позволяющий уменьшить число таких перемещений.

Ключевые слова:лазерная микрообработка, CAD-модель, автоматическая фокусировка, транспортная задача, задача коммивояжера, комплементарная система.