Математическое моделирование взаимодействия эллиптически поляризованного света с периодической наноструктурой, содержащей дефектный слой

Яцышен Валерий Васильевич

В работе приводятся результаты моделирования процесса отражения эллиптически поляризованного света от наноструктуры с дефектом. Показано, что угловые спектры модуля комплексного эллипсометрического параметра отраженной волны имеют четко выраженные максимумы, которые достигаются при = и = соответственно для идеальной наноструктуры и структуры с дефектом. При этом максимум этого параметра во втором случае примерно в 3 раза превосходит максимум в первом. Аргументы комплексных эллипсометрических параметров для исследуемых двух случаев наблюдаются значительные отличия в области углов падения . Оба угловых спектра эллипсометрических параметров демонстрируют ярко выраженное различие в зависимости от угла падения для идеальной наноструктуры и структуры с дефектом, что может служить более тонким инструментом диагностики по сравнению с обычными энергетическими спектрами отражения и прохождения. Показано, что особую чувствительность к дефекту проявляет форма и характер эллипса поляризации отраженного от наноструктуры эллиптически поляризованного света.

Ключевые слова:периодическая наноструктура, отраженная волна дефект, эллипсометрические параметры, угловые спектры, эллиптическая поляризация.